アズワン 6インチSICウェハ(Production/4H-N)研究用 1枚入

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商品情報

●研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
●グレード:Production Grade
●タイプ:4H
●Surface orientation error:<11-20>4±0.15°
●ドーパント:n-type
●抵抗率:0.015~0.025Ω
●直径:150.0±0.2mm
●厚み:350±25μm
●1次オリフラ:[1-100]±5°
●1次オリフラ長さ:47.5±1.5mm
●2次オリフラ:None
●TTV:?3μm
●Bow:-25~25μm
●Warp:?35μm
●表面仕上げ:Si面 CMP Si-faceCMP
●Back Finish:C-face polished
●表面粗さ(Si-face):Ra?0.2nm(5μm×5μm)
●マイクロパイプ:?0.2ea/cm2
●BPD:?1500ea/cm2
●TSD:?300ea/cm2
●数量:1枚(1箱)
●※特注対応品
●▼方位(切断角度)、OF方位角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
●▼多様な形状加工と表面処理が可能です(例:ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー)。
●▼ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
●※特注対応での受注の場合は仕入先とご調整お願いします。
入数:1枚/箱

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