ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm (品番:DAU-20)(注番3981533)

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商品情報


179980 アルバック ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 幅203mm 〔品番:DAU-20〕
[本体質量:7.5kg] 《包装時基本サイズ:415×245×270mm》〔包装時質量:9.1kg〕
分類》工事・照明用品》ポンプ》真空ポンプ
☆納期情報:在庫色(黄) 仕入れ先通常在庫品 (欠品の場合有り) 直送品

特長

●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。

用途

●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸着搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環・排気用。
●真空乾燥装置、連結真空乾燥装置

仕様●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
●到達圧力(Pa):200
●吸気口径(mm):10
●電源(V):単相100
●全幅(mm):161
●全長(mm):327
●全高(mm):217
●電源コード長さ(m):1.8
●3段排気方式
●接ガス部耐食性
●一台から異電圧に別作対応
●到達圧力(KPa):0.2
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
材質/仕上
セット内容/付属品
注意●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
原産国(名称)日本
JANコード4571133302379
コロンコード8740698000
コロン名称ULVAC ポンプ
本体質量7.5kg




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