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■特長
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
■用途
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
■仕様
排気速度(L/min)50/60Hz:20/24
到達圧力(Pa):5.33×10[[の3乗]]
吸気口径(mm):9
電源(V):単相200
全幅(mm):118
全長(mm):242
全高(mm):178.0
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特徴
■特長
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
■用途
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
■仕様
排気速度(L/min)50/60Hz:20/24
到達圧力(Pa):5.33×10[[の3乗]]
吸気口径(mm):9
電源(V):単相200
全幅(mm):118
全長(mm):242
全高(mm):178.0
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
仕様
DA20D200V